可对应不同厂牌的Sputter进出料,适用12寸及以下的Wafer Frame或是方形Frame,可衔接Sputter前后段工艺进行托盘物料搬运
♦适合各类托盘,可进行Wafer Frame的位置编程与缓存
♦采用高精度4/6轴机械手搭配视觉进行物料移载
♦下料段可缓存10片产品
♦兼容方形Frame ******尺寸250X250mm
♦具备离子风刀清洁机制
项目 | 规格描述 |
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UPH | >60pcs |
抓铁圈/carrier方式 | 真空负压吸取/电爪/气缸 |
放置精度 | ±0.05mm |
支持铁圈尺寸 | ≤250x250mm方形铁圈 |
扫码成功率 | >99.99% |
支持清洁功能 | 离子风刀清洁,真空吸附 |